Dark Field（暗場缺（quē）陷（xiàn）檢測）
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關鍵詞：
半導體（tǐ）設備（bèi）、半導體工（gōng）藝
所屬分（fèn）類：
產品（pǐn）描述
Dark Field detectors collect scattered light over a large angular range, which provides high sensitivity for detection of small defects. Particles, scratches, missing patterns, as well as other surface contamination and pattern anomalies on the surface of the wafer scatter the incident laser light in various understood patterns.
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