OP5340(膜厚儀)
欧美亚韩一区二区三区半導體專(zhuān)注於半導體工藝(yì)設(shè)備的研發、製造、銷售及售(shòu)後一體化服務,提供(gòng)半導體廠商工藝設備的一站式解決方案。
關鍵詞:
半導體設備、半(bàn)導體(tǐ)工藝
所屬分類:
產(chǎn)品描述
Opti-Probe 5000 用於(yú)非接觸式晶圓膜厚測量,通過測(cè)量單層或多層晶圓上薄膜(mó)的光學參(cān)數(反(fǎn)射(shè)光和建模的薄膜參數),計(jì)算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集(jí)成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚(hòu)度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源(yuán)進(jìn)行測量。
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